科學觀測、深空光通信與引力波探測等任務對跟瞄光學系統的視軸指向精度及穩定性提出了達到亞urad乃至nrad的高要求。來自系統內外部的動態振動擾動是影響視軸精度的主要因素，因此抑制動態振動擾動成為領域內最具挑戰性的關鍵問題之一。在一些高精度、高穩定性的應用場合，采用快速控制反射鏡等運動部件作為視軸的精確指向與穩定的關鍵單元，但其引入的寄生擾動是制約系統精度與穩定性進一步提升的重要因素。該研究通過創新性地建立的光-機-電多學科交叉耦合的系統級視軸指向與抖動評估預測模型，針對快速控制反射鏡在精密光束控制中產生的寄生擾動的問題，運用不確定性分析、時頻域比對等手段，定量分離寄生擾動分量，結合預測模型，提出破解寄生擾動的補償方法及視軸抖動綜合整治思路。經外場測試，試驗數據充分驗證了模型的有效性。